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白光干涉仪特别适合钻孔、通道和蚀刻结构等深度的3D测量

   日期:2021-07-03     浏览:21    评论:0    
核心提示:用于确定机械值、流动曲线和材料硬度的测试系统需要出色的准确性和可重复性。可靠的金属硬度、抗拉强度和流动曲线测试数据可以评

用于确定机械值、流动曲线和材料硬度的测试系统需要出色的准确性和可重复性。可靠的金属硬度、抗拉强度和流动曲线测试数据可以评估材料质量,防止混淆,并为进一步的质量控制和保证奠定基础。




材料测试解决方案专家Imprintec是一家机械材料测试服务提供商。该公司将 ISRA VISION 的白光干涉仪用于其测试系统,为其客户提供出色的精度和快速的测量结果。




Imprintec 的 i3D 测试系统用于强度测试,旨在确保材料的清晰识别和质量控制。它们还用于部件测试和局部检查,例如热处理、热加工或焊缝。




另一个应用是研究汽车行业中常见的部分压制硬化钢部件的强度曲线 - Imprintec 使用符合 DIN SPEC 4846 的压痕工艺。这涉及施加最小的局部测试压力,然后创建压痕的光学 3D 测量和周围的衣领。可以使用复杂的算法和 FEM 模拟快速准确地分析生成的数据,从而深入了解材料特性,如流动曲线、屈服点、拉伸强度和硬度。




“光学测量是 Imprintec 测试程序的一部分。这需要最高的测量精度和可重复性。另一个重要因素是横向分辨率,测试系统使用 ISRA VISION 的 NetGAGE3D 白光干涉仪。”Imprintec 的应用顾问 Peter Zok 说。




这些可提供快速可靠的 3D 测量结果,以确保缩短测试时间。根据 Peter Zok 的说法,调整传感器以满足定制要求的能力使它们非常适合该过程:由于与 ISRA VISION 的合作,能够为测试系统定制光学传感器。这使得集成更容易。这些传感器可以以 3D 方式快速测量高达 200 mm² 的表面,这是传统点式或线式传感器的巨大飞跃。




NetGAGE3D 传感器基于白光干涉测量原理,其中白光均匀地照射到被测物体和参考镜上。然后参考镜和被测物体将光束反射回相机。根据物体的垂直结构和表面,参考光和样品之间的不同路径长度是结果。使用计算对象中每个点的距离的软件分析这些叠加图案,从而以表面高度图的形式生成样本的地形图像。由于 NetGAGE3D 的测量灯和相机镜头同轴安装,因此可以高精度测量钻孔、通道和蚀刻结构等深度。在标准系统上,在 50 µm 的台阶高度上,测量的重复精度通常约为 100 nm,绝对精度为 ±200 nm。还提供精度更高的版本。




除了传感器的技术特性和定制配置外,Imprintec 还重视将 NetGAGE3D 传感器集成到整个系统中的简单性。




“该界面易于集成,并允许我们自己对传感器进行编程。将它们集成到我们的测试系统中时,这是一个很大的优势,”Zok 说。




因此,Imprintec 能够根据 DIN SPEC 4846 快速开发并推出一款用于组件和材料质量保证的紧凑型设备。它使客户能够快速准确地确定其产品的机械性能,从而提高质量并确保更多可靠的流程并减少浪费和投诉。

 
 
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